진공 열처리로( Tube Type Furnace )
. 형 태 : Tube Type 열처리로(튜브로, 튜브전기로, 진공로)
. 용 도 : 진공 or 수소분위기 금속 열처리로, 전기로
. 최 고 온 도 : 1500도
. 최고사용온도 : 1400도(High Purity Alumina Tube 사용 시), 1050도(Quartz Tube 사용 시)
. Requested Tube : Quartz Tube
. Heating length : Appr. 420mmL
. 터치패널을 이용한 온도 조절, 데이터 레코딩 & 메모리 카드에 데이터 로깅 시스템
. 열 원 : 전기가열식
. 발 열 체 : Silicon Carbide Heater
. 온도조절구간 : 3 zone control
. M.F.C Unit : Ar, H2, O2
. Ignitor(폭발성 가스 연소 장치) : 세라믹 히터 방식을 이용해 배출되는 폭발성 가스를 태워주는 안전 장치
. Vacuum System & Gas flowing system
. Vacuum Pressure : 0.005 torr(Under unloading & room temp.)
