진공로 & 가스분위기 전기로 1640VGSFL
<제품설명>
솔라셀(solar-cell) 실리콘웨이퍼 어닐링용 진공로 & 가스분위기 전기로
사 양
. 형 태 : Vacuum, Gas tight Chamber & Front Loading Type 소성로
. 최 고 온 도 : 1500oC
. 최고사용온도 : 1400oC
. Gas Ti호t Chamber : STS304, water cooling unit
. Water Cooling Unit : 상하부 Seal를 보호하기 위한 장치
. 로 내부용적 : Appr. 400mmW x 400mmD x 400mmH
. Working Volume : Appr. 250mmW x 250mmD x 250mmH
. 로 외부용적 : Appr. 670mmW x 850mmD x 1800mmH
. 열 원 : 전기가열식
. 발 열 체 : Kanthal Super 1700, 8ea(2 sides heating)
. 온 도 조절기 : Yokogawa UP-550, PID 방식 (99 Segment)
. 과 열 방지기 : Yokogawa UM-330
. 온도감지방식 : Thermocouple Type "B"
. Power Control : SCR 일본 Tokyo-Riko VSCP-60-NCC, 220V, 60A, 1 phase,
정전류 방식
. 내 화 재 : High density Alumina Fiber Board
- Hot Face : High density Alumina 1700도용 Fiber Board일본제품)
- Cold Face : High density Alumina 1600도 & 1400도용 Fiber Board
(일본제품)
. Gas inlet & out unit : Gas port(2ea), gas line & one touch fitting
. Vacuum Unit : Pre-vacuum, Vacuum pump(습식), Indicator용 digital vacuum
gauge, 수동 On/off 제어방식
. Structure : SS41 Square Pipe & 열처리 도장
. Casing : SS41 Steel Plate & 열처리 도장
. 전 원 : 220V, 1 Phase, 60Hz
. 최대전력소비 : 11Kw
