| 진공 Leak Rate 계산하는 방법 |
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사용하는 장비 (정해진 시간 내에 용기의 압력변화) 의 Leak Rate 를 계산하는 방법입니다. 예를 들어, 챔버의 크기가 10 liter이고 진공도가 2 Torr 인 장비가 2시간만에 5 Torr로 진공도가 변화하였을 경우 사용해야 할 공식은 Q=P*S (Q는 Leak Rate, P는 Pressure, S는 Pumping Speed) 및 S=V/T (V는 챔버크기, T는 시간) 이며, 두 공식을 합하면 Q=P*V/T 입니다. 10 liter 의 챔버에서 2시간에 3 Torr 의 진공도 변화가 있었으므로 Leak Rate (Q) 는 3 Torr * 10 liter / 2 h = 15 Torr l/h = 0.0042 Torr l/s 입니다. 펌)http://www.torr.co.kr/bbs/view.php?id=tech&page=1&sn1=&divpage=1&sn=off&ss=on&sc=on&select_arrange=headnum&desc=asc&no=2 추가내용 : 진공 누출 속도 점검 누설률 점검은 정기적(월1회 추천) 실시해야 하며, 공로(빈 상태), 청결, 상온 및 배출되는 가스가 없는 로 상태에서 측정해야 하며, 일반 용도의 경우 시간당 10미크론 또는 중요 용도의 경우 시간당 5미크론을 초과하지 않아야 합니다. 누설률 점검에 앞서 로 번아웃(태워서 내부 청소) 사이클이 수행되어야 합니다. 번아웃 온도는 전에 사용된 최고 온도보다 100°F(120℃) 높아야 한다. 누출 속도는 진공로가 5×10-4 Torr 미만일 때 측정해야 합니다. 다음 절차에 따라 진공 챔버 크기를 고려하여 보다 정확한 누출 점검을 수행할 수 있습니다. Q=(P2-P1) x V/t Q – 누설률 P2 – 평가 종료 후 진공도 P1 – 평가 시작 시 진공도 V – 로 용기의 부피(리터 단위) T – 조사 시간(최소 60분) 대부분의 양호한 진공로는 약 1 x 10-3 Torr x l/s 이상의 누설률을 가지고 있습니다. |
