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진공도에 따른 산소농도 및 듀 포인트 값
Oxygen content % Dew Point oC Vacuum Pressure mbar Vacuum Pressure torr Vacuum Pressure kPa
21 +61 1013 760 101
7.7 +40 378 284 37.8
2.8 +23 137 103 13.7
1™ +7 45™ 34™ 4.5
0.38 -5 18 14 1.8
0.14 -16 6.9 5.2 0.7
0.05(500ppm) -26 2.4 1.8 2.4x10‐¹
0.019 -36 1 0.75 1x10‐¹
0.007 -45 3x10‐¹ 2x10‐¹ 3x10‐²
0.0025(25ppm) -54 1x10‐¹ 7.5x10‐² 1x10‐²
0.0009(9ppm) -61 5x10‐² 4x10‐² 5x10‐³
0.0001(1ppm) -65 5x10‐³ 4x10‐³ 5x10‐⁴
0.000006 -80 3x10‐⁴ 2.3x10‐⁴ 0.3x10‐⁴
 
™ : Limit to avoid Limit to avoid exploding
(1) : Gas Tight Metal Chamber with a ceramic fiber sealing under Ar gas atmosphere
<100ppm(0.01%) :  Gas Tight Metal Chamber with a silcone(viton) ruber sealing under Ar gas atmosphere(출처 : nabertherm)
<25 ppm :  Gas Tight Metal Chamber with a silcone(viton) ruber sealing under pre-vacuum & Ar gas atmosphere(출처 : 3d systems)
 

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