진공 & 가스 분위기 전기로(진공로/진공퍼니스) model VF-9014
1. CHAMBER
① 형태 및 용도 : 원형의 전면도어 열림, 진공상태에서 서로 다른
두 금속의 마찰 정도 측정하는 가열 진공로(진공퍼니스)
② SIZE(mm) : Appr. Ø450 X 550L(원형 2중 수냉식)
③ 재 질 : SUS304
④ Power feedthrough port : 3EA, K-25-04
⑤ 진공펌핑포트 : NW40, 당사 제작품
⑥ 도어 클램프 : KJF-025-42F
⑦ Vacuum pumping line welding
⑧ Rotating disk : 시편 고정 장치(무드볼트)
① 형태 및 용도 : 원형의 전면도어 열림, 진공상태에서 서로 다른
두 금속의 마찰 정도 측정하는 가열 진공로(진공퍼니스)
② SIZE(mm) : Appr. Ø450 X 550L(원형 2중 수냉식)
③ 재 질 : SUS304
④ Power feedthrough port : 3EA, K-25-04
⑤ 진공펌핑포트 : NW40, 당사 제작품
⑥ 도어 클램프 : KJF-025-42F
⑦ Vacuum pumping line welding
⑧ Rotating disk : 시편 고정 장치(무드볼트)
- Material : Hard Carbon
- Disk Size : Ø 130 x 30mm
- 귀사 시편 사이즈 : 50mm x 50mm x 4-5t(2ea)
⑨ 강판시편 홀더 : Appr. 140mmW x 230mmD x 30mmH
- Material : Hard Carbon
- 고정 장치 : 지그고정, SS41 Square Bar(12t x 25mmW x 100mmL), 볼트결합
⑩ WELDED BELLOWS-ST200 및 부착 기구
⑪ MAGNET SEAL & COOLING
- Model : HFN020
- Maker : I-SAN
⑫ GAS SENSOR 취부 BLAKET & WATER COOLING UNITS : O2 & H2
- Model : T 7OX-OV Oxygen
- Model : T3HYT Hydrogen Transmitter
- Maker : City Technology(영국)
- O2 Indicator : UT-35A(Maker : 한국 Yokogawa)
2. 진공 배기장치
① OIL ROTARY PUMP
⑴ 펌핑스피드 : 800 L/min
⑵ 도달진공도 : 0.005Torr
⑶ 440V, 4P, 60HZ
⑷ MAKER : KODIVAC
⑸ Model : 800K
② VALVE
⑴ MAIN VALVE : NW40(Maker : I-SAN)
⑵ AUTO VENT(안전장치) : VT307-4G1(Maker : SMC)
③ VACUUM GAUGE : KVC450 COMPACT SHIM GAUGE, KVC450-55
⑵ 도달진공도 : 0.005Torr
⑶ 440V, 4P, 60HZ
⑷ MAKER : KODIVAC
⑸ Model : 800K
② VALVE
⑴ MAIN VALVE : NW40(Maker : I-SAN)
⑵ AUTO VENT(안전장치) : VT307-4G1(Maker : SMC)
③ VACUUM GAUGE : KVC450 COMPACT SHIM GAUGE, KVC450-55
3. HEATER SYSTEM & CONTROL PANEL
① WOKE ZONE : 200 X 450L
② Heater System :
② Heater System :
- MATERIAL : SILICONE CARBIDE HEATER
- SIZE : Appr. Ø25X 450mmL(6개)
③ SHIELD : SOFT & REGID FELT
- MATERIAL : GRAPHITE
④ TEMP MAX : 900℃, WORK TEMP. : 800℃
- 최대 승온 속도 : Appr. 100min. upto 800℃
⑤ 온도센서 : THERMOCOUPLE
- 최대 승온 속도 : Appr. 100min. upto 800℃
⑤ 온도센서 : THERMOCOUPLE
- TYPE : "K"
⑥ 콘트롤러(온도 & 진공) :
- MODEL : UP-55A(온도)
- MAKER : 한국 요코가와
- MODEL : A1-2100
- 과열 방지 알람 출력 : 경광등, 부저 동작, 모든 전원 OFF
⑦ POWER CONTROLLER : SCR TYPE, 440V, 3상, 35A
- MODEL : PION-D3W-035-00
⑧ 파워 트랜스 : APPR. 25KVA
- 가변부하용 복권 트렌스
⑨ 파워 피드스루 절연재 : QUARTZ TUBE, 3개
- MATERIAL : QUARTZ, APPR. 35OD
- RECORDING SYSTEM : 12 CHANNEL & RECORDING, 설정값(SET VALUE)은
저장이 안되고 실제값(PROCESS VALUE)만 저장 됨
- 온도(범위 ; 0-1000℃), 진공도(1000 – 0.005 TORR), 진공로 진공파괴후 내부압력 유지 압력게이지 값(0 -1 BAR, 상대압력), 산소 농도(0-25%), 수소 농도(0-5%), 공정 수소 유량(0.05-1 L/MIN), 공정
질소 유량(0.3- 5 L/MIN), 회전 속도(0-10 RPM), 압축력(25-75KGF)
- MODEL : SDR-112
- 소요 전력 : 440V, 25Kw, 3PHASE
- ELECTRIC BRAKER :
- MCCB-ABS 53AF/50AT
- MCCB-ABS 32A/10AT
- MAKER : LS산전
- MAGNETIC CONNECTOR :
- MC-GMC50A
- MAKER : LS산전
- RELAY & SOCKET
- MY-4N
- MAKER : LG HONEYWELL
- TERMINAL BOX :
- HY-50, 15A
- MAKER : 한영넉스
4. COMPRESSOR WITH LOADCELL
① 압축력 : 25– 75Kgf
② 압축 방식 : 유압실린더
- CYLINDER(유압) : FA40-30-75ST
- 유니트 : 1HP 모터, 중공축 기어
- 펌프기어 : SWG1-6, 1R
- CHECK V/V-카트리지 : DO4882-0.5N(PARKER)
- RELIEF V/V-카트리지 : PDBA-LDN(SUN)
- SOLENOID V/V-카트리지 : EP-10W-2A-31Z(WINNER)
- ACCUMULATOR : EHV4-350/90(PARKER)
- GAUGE-HYD : 63-A-25BAR 1/4”(WIKA)
- RELIEF V/V-전자비례 : PBAP-LON2C24V(SUN)
③ PID CONTROLLER : UT-32A(한국요코가와)
- 과력 방지 알람 출력 : 경광등, 부저 동작, 유압실린더 전원 OFF
④ ACCURACY : 50±2 Kgf
⑤ LOADCELL : ACCURRACY(FULL SCALE에 0.5%)
- MODEL : CMMS-100L, 1EA
- TRANSMITTER : 1 EA, NCT- I OUT, 4-20mmA
5. ROTATING SYSTEM
① STEPPING MOTOR : ORIENTAL MOTOR(일산) MODEL AZM98C-PS36
- ENCORDER & GEARED TYPE
- 최대정지 TORQUE (N-M) : 37
- 허용 TORQUE(N-M) : 37
- 감속비 : 36
- 회전 방향(정역) 지정 가능
- ACURRACY : BACKLASH 0.15도
② STEPPING MOTOR DRIVE ORIENTAL MODEL AZD-CD
③ MOTION CONTROLLER
③ MOTION CONTROLLER
- 전용 컨트롤러 : LCD 창은 4개의 표시줄 4개의 스크롤바
- 전용 제어 Logic(세팅값 기록가능)
- 회전 방향(정역) 지정 가능
- 회전 속도 변경 가능( MAX. 16 STEPS)
- 속도범위(m/sec) : 0.01 – 0.1, 운전거리(선속도 계산시 운전거리, 정지시간), 3초간 정지
- 취부방식 : 팬던트형, 시험중 사용자 편의를 위한 거취방식
⑤ ENCODER : MOTOR 일체형
⑥ ENCODING INDICATOR : MP5Y(오토닉스)
- 출력 펄스 값을 레코더로 전송 저장
⑦ 모터 냉각 장치 : Blower를 이용한 공랭 방식, blower 입력단에 수냉 코일
장착
⑥ ENCODING INDICATOR : MP5Y(오토닉스)
- 출력 펄스 값을 레코더로 전송 저장
⑦ 모터 냉각 장치 : Blower를 이용한 공랭 방식, blower 입력단에 수냉 코일
장착
6. GAS FLOWING SYSTEM & INDICATOR
① ATMOSPHERE : N2 + H2, MIXED GAS( 96% N2 + 4%H2)
② GAS FLOW METER : MFC CONTROL, ACCURRACY(FULL SCALE의 1%)
② GAS FLOW METER : MFC CONTROL, ACCURRACY(FULL SCALE의 1%)
- N2 RANGE : APPR. 5L/MAX
- H2 RANGE : APPR. 1L/MAX
- MODEL : M3030V CAL GAS-N2
- MODEL : M3030V CAL GAS-H2
- READ OUT UNIT : LTI-1000
③ GAS INDICATING UNIT : H2, O2
- MODEL : UT-32A
- MAKER : 한국요코가와
④ O2 농도 알람장치 : 일정값 이상시 비상 정지(수소 농도는 농도만 표시)
- O2 SENSOR : T70X-V, “%” 출력값
- H2 SENSOR : T70X-T “%” 출력값
⑤ 진공 파괴용 질소 FLOWING UNIT : BALL FLOW METER CONTROL, MANUAL
조작(수작업으로 조작, 진공 파괴용 질소 투입, 수작업으로 볼 플로우미터로 양을 맞춘 후 볼밸브를 열고
진공이 다 파괴되면 필요한 수소&질소 믹스 가스를 흘리면 됩니다.)
- O2 SENSOR : T70X-V, “%” 출력값
- H2 SENSOR : T70X-T “%” 출력값
⑤ 진공 파괴용 질소 FLOWING UNIT : BALL FLOW METER CONTROL, MANUAL
조작(수작업으로 조작, 진공 파괴용 질소 투입, 수작업으로 볼 플로우미터로 양을 맞춘 후 볼밸브를 열고
진공이 다 파괴되면 필요한 수소&질소 믹스 가스를 흘리면 됩니다.)
- BALL FLOWMETER : MAX. 25L/MIN(RMA-22-SSV, DWYER)
- BALL V/V : 1/8”
7. 자동 압력 조절 시스템 : 일정한 압력 유지 장치
① PRESSURE GAUGE : PSCH
② MAX PRESSUR : APPR. 200mmBar, NORMAL 100mmBar
③ PRESSURE CONTROLLER : A1-2100
④ 전자식 밸브 : 유체제어용 2포트 밸브 / 프로세스 밸브
- MODEL : VNB-NC-1/8
② MAX PRESSUR : APPR. 200mmBar, NORMAL 100mmBar
③ PRESSURE CONTROLLER : A1-2100
④ 전자식 밸브 : 유체제어용 2포트 밸브 / 프로세스 밸브
- MODEL : VNB-NC-1/8